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広島大、プラスチック上で単結晶シリコントランジスタの動作実証

日刊工業新聞より。
広島大、プラスチック上で単結晶シリコントランジスタの動作実証

広島大学大学院先端物質科学研究科の東清一郎教授らの研究グループは、
ペットボトルなどに利用される安価なプラスチック上での
単結晶シリコントランジスタの動作に成功したと発表しています。

微小な空間内の液体によって生じる引力を利用して、ウエハー上の単結晶シリコン層を
部分的に転写させることで実証したとの事。
トランジスタの電界効果移動度は609cm2V-1s-1だったとの事です。

研究では2枚の板に挟まれた微小空間内の液体により生じる引力を利用し
市販されているシリコンウエハーの単結晶シリコン層に使うことでプラスチックに転写。
さらに150℃以下の低い温度で単結晶シリコンをプラスチック上に形成したとの事です。

HiroshimaUniv_single-crystaline-silicon_process.jpg

HiroshimaUniv_single-crystaline-silicon_process_image.jpg

このシリコンを用いてプラスチック上に高性能トランジスタを作製する
プロセス技術を確立し、動作を確かめています。
これまで硬い基板上でしか作製できなかった高性能電子素子を、
しなやかなプラスチック上で実現できることが示唆されたとしています。

HiroshimaUniv_single-crystaline-silicon_process_Transistar_image.jpg

水のメニスカス力を用いるという非常にユニークな方法です。
制御は難しそうではありますが、フレキシブルデバイスへの応用が期待されます。

やはり高温が印加できない樹脂基板に対応するプロセスとしては転写方法が
スタンダードになるようですね。

広島大学ニュースリリース
プラスティック上での単結晶シリコントランジスタの動作に成功!
~しなやかなエレクトロニクスの普及に期待~



広島大学大学院先端物質科学研究科の東清一郎教授らの研究グループは、ペットボトルなどに利用される安価なプラスチック上での単結晶シリコントランジスタの動作に成功した。微小な空間内の液体によって生じる引力を利用して、ウエハー上の単結晶シリコン層を部分的に転写させることで実証した。トランジスタの電界効果移動度は毎秒1ボルト当たり609平方センチメートルだった。
 研究では2枚の板に挟まれた微小空間内の液体により生じる引力を利用。それを市販されているシリコンウエハーの単結晶シリコン層に使うことでプラスチックに転写。さらに150度C以下の低い温度で単結晶シリコンをプラスチック上に形成した。
 このシリコンを用いてプラスチック上に高性能トランジスタを作製するプロセス技術を確立し、動作を確かめた。これまで硬い基板上でしか作製できなかった高性能電子素子を、しなやかなプラスチック上で実現できることが示唆された。



電子デバイス工学 [第2版]電子デバイス工学 [第2版]
(2014/01/10)
古川 静二郎、荻田 陽一郎 他

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