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東北大、グラフェントランジスタ開発-ナノリボン構造作製

日刊工業新聞より。
東北大、グラフェントランジスタ開発-ナノリボン構造作製

 東北大学寒川誠二教授の研究グループは、従来比1000倍の電気特性を持つ炭素物質のグラフェン
使ったトランジスタを開発したと発表しています。独自開発の中性粒子ビーム加工でグラフェンを細線化して
高品質な「ナノリボン」構造を作り、世界最高のスイッチング性能(オン/オフ比)を実現したとの事。
 今回の検証に用いた中性粒子ビームによる加工技術はすでに用いられているプラズマ源を利用し、
中性化の為のグラファイトグリットを付加するだけで実現できるとのことで、
装置メーカー側の開発も進んでいるようです。 
 グラフェンはバルクを持たない構造で表面状態がその性質に敏感に影響することから表面をいかに均一に
加工し、また保持するかといった技術の開発が望まれるのではないかと考えられます。

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 東北大学寒川誠二教授の研究グループは、従来比1000倍の電気特性を持つ炭素物質のグラフェンを使ったトランジスタを開発した。
独自開発の中性粒子ビーム加工でグラフェンを細線化して高品質な「ナノリボン」構造を作り、世界最高のスイッチング性能(オン/オフ比)を実現した。シリコントランジスタを超える性能を持つグラフェントランジスタの実用化が近づく。
 寒川教授らは、グラフェンシートの幅を狭くしてナノリボン構造にし、グラフェンのバンドギャップを広げる工夫をした。
電子ビーム露光技術と独自の中性粒子ビーム加工技術を組み合わせ、30ナノ―100ナノメートル幅のグラフェンナノリボン構造を作り、その上に電極を形成してグラフェントランジスタを作製した。
 今回、中性粒子ビームで加工することによって、グラフェンシートに損傷を与えずに欠陥のない高品質なナノリボンの作製が可能で、1万以上の高いオン/オフ比が確認できた。
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マイナビニュースでも取り上げられています。

http://news.mynavi.jp/news/2013/09/25/225/index.html



カーボンナノチューブ・グラフェン (最先端材料システムOne Point 1)カーボンナノチューブ・グラフェン (最先端材料システムOne Point 1)
(2012/06/22)
高分子学会

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