【抜粋記事】印刷でタッチパネル、70μm配線をスクリーン印刷で実現

日経テクノロジーオンライン
印刷でタッチパネル、70μm配線をスクリーン印刷で実現


http://www.goo-chem.co.jp/

互応化学工業は、配線幅と配線間隔がそれぞれ60～70μm程度の微細配線を実現するスクリーン印刷技術を開発した

エッチング向けのレジストパターンを形成できる印刷技術

今回の印刷技術を使えば、フォトレジスト方式の工程をスクリーン印刷とUV照射の工程だけで実現できる。タッチパネル向けの微細配線パターン形成や、一部の配線基板での利用を想定

互応化学工業の高精細スクリーン印刷技術に関するパネル

互応化学工業は関連会社と協力して、版として用いるメッシュやインク、印刷技術を改良

具体的には、製版に用いる「スクリーン製版用感光乳剤（ERS-3）」と「紫外線硬化型エッチングレジスト（PR-826）」（インク）を担当

乳剤はSUSなどのメッシュに塗布し、UV露光でパターンを形成するというもの。パターンの精度と耐性が要求されるもので、既に販売中の製品を応用

レジストインクは互応化学工業のアクリル重合技術を使って同技術のために新たに開発したものという。2016年末から販売

微細配線可能なスクリーン印刷の例

タッチパネル向けの配線の場合、配線幅/配線間隔が50μm/50μm～70μm/70μmの微細配線が要求されるため、従来はフィルムをラミネート加工する方法が採用されている

“チャンピオンデータ”であれば30μm/30μmも実現できたとしており、微細配線のレジスト形成技術を置き換えられると見ている

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