【抜粋記事】FPD China、有機EL用でも存在感、韓台の製造装置・部材メーカー

日経テクノロジーオンライン
FPD China、有機EL用でも存在感、韓台の製造装置・部材メーカー

FPD-China_2017_image1.jpg

2017年3月14~16日に中国・上海でディスプレー関連の展示会「FPD China 2017」が開催




特に目を引いたのは、韓国と台湾の製造装置メーカーや部材メーカー


例えば、韓国AP Systems社



AP-system_FPD-china_image1.jpg

今回のFPD Chinaでは、さらに、フレキシブル有機ELディスプレー向けの製造装置などを展示


具体的には、フレキシブル有機ELディスプレーの製造で欠かせないレーザー・リフト・オフ(LLO:Laser Lift Off)装置、ガラス基板を用いるリジッド有機ELディスプレー向けの封止装置、薄膜積層構造を形成するフレキシブル有機ELディスプレー向けの封止装置、有機EL材料の塗り分けに必須のファイン・メタル・マスク(FMM:Fine Metal Mask)製造装置などを紹介


FMMでは、インバーなどの金属板をエッチング加工して作製する方式が主流。AP System社はレーザー加工技術を用いて、12μmの開口パターンと6μm幅のブリッジを実現


キヤノントッキは、最も実績が豊富と言われる有機EL蒸着装置を紹介



Cannon-tokki_FPD-china_OLED.jpg

キヤノンは、高精細有機ELパネル向け露光装置を紹介



Canon_OLED_photosystem_FPD-China_iamge1.jpg

アルバックも、有機ELパネル用の製造装置をアピール


ニコンは、FPD用と半導体用の両方の製造装置を紹介



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