【抜粋記事】ピコ秒レーザーで微細加工、タッチパネルの生産性を向上

日経テクノロジーオンライン
ピコ秒レーザーで微細加工、タッチパネルの生産性を向上

RICOH_laser_LA-1100_visual_image1.jpg
LA-1100の外観写真

自社開発のファイバーレーザー光源を搭載した短パルス加工装置を開発した、リコーインダストリアルソリューションズの展示を取り上げる




同社は2014年6月設立。リコーのインダストリ事業部を吸収分割するとともに、リコー光学、リコーマイクロエレクトロニクスを吸収合併した企業で、現在はFA向け新規ビジネスを開拓している


レーザーパターニング装置のLA-1100は、タッチパネルに用いられている透明導電膜などに形成される回路を、レーザーを用いて直接パターン加工する装置


同社が保有するピコ秒レーザー技術を使うと、下地へダメージを与えることなく透明導電膜を加工することが可能


これまで個別の工程で加工していたITO膜と銀(Ag)引き出し電極の同時加工を実現


ロール・ツー・ロール(R2R)対応のレーザーパターニング装置としては世界最小の設置面積


コンパクトで低電力ながらも、1シート当たり50秒の高い処理能力を兼ね備えている


基材幅600mm(1500mmまでカスタム対応可)のロール状フィルム加工に対応


線幅/線間隔(L/S:ライン・アンド・スペース)である20μm/20μmのパターン加工を実現


タッチパネルメーカーや薄膜太陽電池メーカーのパターニング工程向けを中心に、製品提案を計画



RICOH_laser_LA-1100_spec_image1.jpg
LA-1100の仕様

RICOH_laser_LA-1100_ITO-patterning_image1.jpg
ITOパターニング(grooving width 10μm)

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AgおよびCuペーストのパターニング

RICOH_laser_LA-1100_Metal-nano-wire--patterning_image1.jpg
金属ナノワイヤー配線加工


多様なサイズと厚さの絶縁フィルムシートを分離搬送し、傷や汚れの有無などの欠陥検査、員数確認、シート整列までの一連作業を全自動化した搬送検査システム



RICOH_sheet-auto-feed-system_image1.jpg
シート自動搬送検査システム

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