旭硝子、「C12A7エレクトライド」のスパッタリングターゲット材を量産開始

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旭硝子、「C12A7エレクトライド」のスパッタリングターゲット材を量産開始

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C12A7(12CaO・7Al2O3)結晶

AGC旭硝子(旭硝子)は、東京工業大学の細野秀雄教授らの研究グループが開発した
「C12A7エレクトライド」を用いた均一な非晶質薄膜を開発し、量産に必要なスパッタリングターゲット材の
工業化と商業生産を開始したと発表しています。


C12A7(12CaO・7Al2O3)はアルミナセメントの構成成分のひとつで、内径0.4nm程度のかご状の骨格が
面を共有して繋がった構造をしています。C12A7エレクトライドは、このかごに含まれた酸素イオンをすべて
電子で交換したもので、金属のように電気をよく流し、電子を外部に極めて与えやすい性質を持ちながらも、
化学的・熱的に安定であるため、取り扱いが容易であるとのこと。
細野教授らは、この特徴的な性質を保持したアモルファス非晶質C12A7エレクトライドも
作製できることを示しています。

現在、有機ELディスプレイの電子注入材料には、フッ化リチウム(LiF)や、アルカリ金属をドーピングされた
有機材料が用いられていますが、これらは不安定な物質あるいは状態で使われているため、今回、細野教授らと
旭硝子の研究グループは、より安定した「非晶質C12A7エレクトライド薄膜」を開発したとしています。

AGC_Titech_C12A17_crystal_target_image1.jpg
C12A7エレクトライドのスパッタリングターゲット材

非晶質C12A7エレクトライド薄膜は、旭硝子の研究グループが開発したターゲット材を用いた
室温のスパッタリング工程から得ることができるとのこと。同薄膜は、可視域で透明で、容易に電子を放出し、
化学的に安定しており、これに細野教授らが開発した透明非晶質酸化半導体(TAOS)を用いたn-チャンネルの
TFT素子を組み合わせることで、デバイス構造として有利な逆構造型でも、駆動電圧の低い電子輸送層を
高い歩留りで製造することができるようになるとのことです。

AGC_Titech_C12A17_crystal_compare_image1.jpg
従来品との比較

TAOS-TFTは大型の有機ELパネルの駆動に適していますが、その性能を生かす逆構造の実現に必要な
電子注入層と輸送層として、うまく機能する物質がこれまでなかったため、同社は今回の成果により、
酸化物TFTで駆動する有機ELパネルの製造が大幅に改善できることが期待できるとしています。

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