ナノテック、1台で多種対応のDLC成膜装置投入−用途拡大へ小型・量産機

日刊工業新聞
ナノテック、1台で多種対応のDLC成膜装置投入−用途拡大へ小型・量産機

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ナノテックが開発したDLC成膜装置(小型タイプ)

ナノテック(千葉県柏市)は、異なる物性のダイヤモンド・ライク・カーボン(DLC)膜を
1台で成膜できる装置を発売しています。DLC膜は種類が多く、それぞれに成膜装置が必要だったとのこと。
これがDLCの用途拡大や普及の障壁の一つと考え、この解消を目指すとしています。
価格3500万円程度の小型機投入を皮切りに、順次販売していくとしており、
初年度に1億2000万円の売り上げを目指すとしています。


ナノテックが発売したのは「Complete Machine」シリーズ。現在DLCは、自動車部品、金型のほか、
生体・医療材料向け、光学保護膜などで多様に使われています。
その物性は、結合状態や水素含有量により大きく変わります。

新シリーズは「HiPIMS」と呼ばれるスパッタリング方式を採用し、水素含有量が0-100%までのすべての
DLC膜、カーボン膜の成膜可能とのこと。また100℃以下の低温で成膜でき、樹脂にも対応。
そのため、包材やディスプレー向けにフィルム業界にも提案していくとしています。

小型機のほか、量産用のロール・ツー・ロール方式の生産機をそろえています。
生産機はオプションなしの場合で約6000万円。初年度は小型機の販売に注力しますが、
3年目には小型機と生産機の合計で4-5億円の売り上げを見込むとしています。

また、DLC膜には現在、統一された分類基準がありません。
これも用途に適した膜種の選定が難しい要因の一つとのこと。
そのため、分類に関して国際標準化機構(ISO)の規格化を進めています。
DLC、カーボン膜を6タイプに分類する方法をドイツと共同提案し、2年後の登録を予定しています。
ナノテックはこの分類法に沿った成膜方法をデータベース化しているとのことで
今後、これをもとに、求める物性に応じて成膜装置の最適な制御方法についても提案していく考えです。

nanotec_DLC_logo_image1.jpg
http://www.nanotec-jp.com/

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