FC2ブログ

スポンサーサイト

上記の広告は1ヶ月以上更新のないブログに表示されています。
新しい記事を書く事で広告が消せます。

ロック技研、非結晶の透明導電膜を樹脂フィルムに成膜する装置開発

日刊工業新聞より。
ロック技研、非結晶の透明導電膜を樹脂フィルムに成膜する装置開発

特殊真空巻取式スパッタ装置 RVS-FWS
特殊真空巻取式スパッタ装置 RVS-FWS(既存装置かと思われます)


ロック技研工業が低抵抗の非結晶型(アモルファス)透明導電膜をロール・ツー・ロール方式で樹脂フィルムに
成膜する装置を開発したと報じられています。
膜種はITO(酸化インジウム錫)を採用しており、スペックは40Ω/□で、透過率90%以上の膜が
得られているようです。特徴としてはフィルムごと曲げても膜が割れないこと。

従来のITO膜では低抵抗・高透過率の膜を成膜するには加熱しなければならず、
フィルム上への成膜が困難であるとともに、結晶性の膜であるために屈曲性に乏しいという難点がありました。
非結晶性(アモルファス)の膜では屈曲性では有利ですが逆に抵抗値・透過率が悪いという問題があります。
アモルファス膜で上記のスペックを満たしているのであれば特性としてかなり良好な膜なのでは
ないでしょうか。気になるところはプロセスマージンですね。
チャンピオンデータでなければ有望なのですが…。

ロック技研工業のページ
http://www.rock-giken.co.jp/

>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>
【千葉】ロック技研工業(千葉県八街市、岩永淳一社長、043・440・1781)は、電気抵抗が低い非結晶型の透明導電膜を、ロール・ツー・ロール方式で樹脂フィルムに成膜する装置を開発した。
 膜はフィルムごと曲げても割れないため、曲線部に非結晶型導電フィルムを貼るといったタッチパネル向けの用途を見込む。
成膜工程の短期化と低コスト化も図れる。価格は1台2億円から。年間10台の受注を目指す。
 ロール・ツー・ロール方式は、ロールに巻いた樹脂フィルムなどの長尺の被成膜物を送り出して成膜し、その後、被印刷物を別のロールで再び巻き取る。膜は酸化インジウムスズ(ITO)を採用。フィルムにスパッタリングする方法を開発するとともに、装置の機構を改良して透明の非結晶型膜を成膜できるようにした。社内試験では電気抵抗40オームで、透過率90%以上の膜の製造に成功。
>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>

現場のスパッタリング薄膜Q&A―反応性高速スパッタの実務アドバイス現場のスパッタリング薄膜Q&A―反応性高速スパッタの実務アドバイス
(2008/08)
小島 啓安

商品詳細を見る
関連記事
スポンサーサイト

この記事へのコメント

トラックバック

URL :

プロフィール

miyabi

  • Author:miyabi
  • 2013/1よりディスプレイ周りの技術情報を掲載。

    Twitter @deep2black
カレンダー
10 | 2018/11 | 12
- - - - 1 2 3
4 5 6 7 8 9 10
11 12 13 14 15 16 17
18 19 20 21 22 23 24
25 26 27 28 29 30 -
最近の記事
タグリスト
カテゴリー
アーカイブ
リンク
人気記事
ブログ内検索
関連書籍
RSSフィード
Twitter
上記広告は1ヶ月以上更新のないブログに表示されています。新しい記事を書くことで広告を消せます。