スポンサーサイト

上記の広告は1ヶ月以上更新のないブログに表示されています。
新しい記事を書く事で広告が消せます。

神鋼、有機ELの劣化防ぐ成膜装置を商品化

日刊工業新聞より。
神鋼、有機ELの劣化防ぐ成膜装置を商品化

ローラー間プラズマ
ローラー間プラズマ

神戸製鋼所が有機ELバリア膜向けのCVDロールコータを商品化したと報じられています。



ソーラーパネルや電子ペーパー用の装置に比べて100倍超の高い封止性を持ち、連続処理が可能とのことです。
既に国内成膜メーカー数社から先行受注している模様です。価格は5-6億円程度。
CVDは成膜レートが低いのが難点ですが、複数のCVD機構を連携させることで処理速度を高めているそうです。

CVDロールコータ概念図
CVDロールコータ概念図

神戸製鋼製品ページ:
ロールコータ(ロールツーロール成膜装置)

既存装置になるかと思いますが、製品ページでのスペックは

■透明バリア膜
膜厚300nmで水蒸気透過率WVTR 1×10-2(g/m2/day)未満、1000nmで5×10-4(g/m2/day)
フィルム上のCVD皮膜の例: SiOx, SiON, SiN, DLC, AlOx

■光学膜
フィルム上のCVD皮膜の例: SiOx, TiOx, AlOx, SiON, SiN, DLC
タッチパネル透明導電膜での構成例: 基材/NbOx/SiOx/ITO
  (NbOx層が無い場合、NbOx層と基材の間にSiOx層などがある場合、NbOx以外の高屈折率膜の場合あり。
   ITO以外の透明導電膜(ZnO系など)になる場合あり。)
赤外線反射膜の構成例: SiOx、TiOxとAgなど金属膜との多層膜

■絶縁膜・保護膜
フィルム上のCVD皮膜の例: SiOx, SiON, SiN, DLC

■ハードコート膜(透明保護膜)
フィルム上のCVD皮膜の例CVD: SiOx, DLC

■その他の機能膜
光触媒膜の例: TiOx
耐食性膜の例: SiOx, DLC






神戸製鋼所は有機エレクトロ・ルミネッセンス(EL)製品の性能劣化を防ぐ成膜装置を商品化した。
ソーラーパネルや電子ぺーパー用の装置に比べて100倍超の高い封止性を持ち、ロール上で連続処理することで
生産性も高い。有機EL向けで同様構造の商品は世界でも初という。
照明やテレビなど有機EL製品の実用化が2015年ごろに控えており、
装置・部材メーカーなどに採用を働きかける。
 商品化した成膜装置「W60Cシリーズ」は、国内成膜メーカー数社から先行受注した。
価格は5億―6億円程度。15年度に年商20億円、20年度に同50億円を目指す。
 同装置は化学気相成長(CVD)を採用したロールコータ(ロール・ツー・ロール成膜装置)で、
有機EL素子部を保護するハイバリアー膜をフィルム基板上に成膜する。
ロール上で連続して均一に膜付けし、複数のCVD機構を連携させることで、全体の成膜処理速度を高めた。


現場のスパッタリング薄膜Q&A―反応性高速スパッタの実務アドバイス現場のスパッタリング薄膜Q&A―反応性高速スパッタの実務アドバイス
(2008/08)
小島 啓安

商品詳細を見る
関連記事
スポンサーサイト

この記事へのコメント

トラックバック

URL :

プロフィール

miyabi

  • Author:miyabi
  • 2013/1よりディスプレイ周りの技術情報を掲載。

    Twitter @deep2black
カレンダー
10 | 2017/11 | 12
- - - 1 2 3 4
5 6 7 8 9 10 11
12 13 14 15 16 17 18
19 20 21 22 23 24 25
26 27 28 29 30 - -
最近の記事
タグリスト
カテゴリー
アーカイブ
リンク
人気記事
ブログ内検索
関連書籍
RSSフィード
Twitter
上記広告は1ヶ月以上更新のないブログに表示されています。新しい記事を書くことで広告を消せます。