ショット、第二世代の感光性構造化ガラスを発表

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ショット、第二世代の感光性構造化ガラスを発表

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独SCHOTT AGは、第一世代よりも性能が大幅に改良された感光性ガラス、
「FOTURAN® IIガラスウエハー」を発表しています。


新製品は感光性と均一性に優れ、高アスペクト比の加工を実現するとしています。
このガラス基板を使用することで、無線周波数(RF)部品や微小電気機械システム(MEMS)メーカーは、
半導体やバイオテクノロジー用の非常に微細な構造の基板を構成することが可能になるとのこと。

同社の「FOTURAN®」ガラスは、通常のフォトレジストを使わずに、微細な構造物を加工できる
ガラス基板として知られており、マイクロシステム技術、半導体、通信、RF部品、マイクロ流体、
マイクロオプティクスやMEMSセンサーなど、多岐にわたる分野で30年以上使われています。

新製品のガラス基板は、高周波RF部品のインダクターの小型化に貢献し、
高いQ値(周期的外力に対する共振の鋭さ)と自己共振周波数(SRF)を実現するとしています。

バイオテクノロジー分野では、マイクロ流体が、医療診断、生命科学研究、ドラッグデリバリーや医薬品合成など、
さまざまな領域で新たな技術開発を促進する主要なツールとなりつつあります。
この領域で新製品は、洗浄が容易で、繰り返し利用することができ、高い透過率をもつ
マイクロプレートを製造することを可能にするとのこと。

また、シリコンセンサーでは実現が難しかった、反応が非常に早く、優れた化学的安定性を有する
熱質量の小さい流量センサーを設計することが可能になるとしており、さらに、半導体チップや
半導体パッケージングプロセスに適用することもできるとしています。

新製品は改良された製造プロセスによって製造されるため、ウエハー全体に優れた感光性と、
高い光学特性が均一に再現されています。そのため、マイクロレベルの非常に微細な構造の基板を構成し、
かつ、これまでにないなアスペクト比を実現するとのことです。
そして、半導体から医療機器までさまざまな機器の高出力化を実現し、
性能を犠牲にすることなく小型化にも貢献するとしています。

この製品は、6インチ、または8インチのウエハーのほか、200×200ミリメートルまでの
正方形基板(0.5ミリメートルから1ミリメートル厚)で提供しています。
ウエハーは、標準的なリソグラフィ装置を使用したUV露光(フォトレジスト不要)、
熱処理とエッチングの三段階で構造化されています。
さらに高い温度安定性が要求される場合には、ガラスセラミックにすることも可能とのことです。

SCHOT AG
FOTURAN® IIガラスウエハー

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