神鋼、CVD式で参入−DLC成膜、デンソーから技術

日刊工業新聞
神鋼、CVD式で参入−DLC成膜、デンソーから技術

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DLC成膜装置

神戸製鋼所はダイヤモンド・ライク・カーボン(DLC)膜の成膜速度を
5倍以上に高めた成膜装置を投入したと報じられています。



デンソーから技術供与を受け、初めて化学気相成長(CVD)方式を採用。
成膜速度で1時間当たり5μmと、主力の物理気相成長(PVD)方式の装置に比べ飛躍的に改善したとのこと。
生産性をより重視するユーザーを対象に、年間5-10億円の販売を見込むとしています。

DLC成膜装置は自動車部品や工具、金型などの表面にDLC膜をコーティングし、
硬さや滑りやすさを高める製品です。部品の耐摩耗性が向上するほか、摩擦熱による焼き付きを
防ぐこともでき、年々需要が増しているとのこと。

これまで神鋼はPVD法の一つであるスパッタリング成膜装置に特化していましたが、
成膜速度が1時間当たり0.5-1μmと遅いのが弱点となっていました。
これに対し、プラズマCVD方式は装置内で炭素分を含むガスをプラズマ反応で分解し、
成膜させる仕組みのため、「PVD法に比べ、成膜時間を1ケタ速めることができる」
(産業機械事業部高機能商品部)特徴を持っています。
デンソーが約10年前に開発した技術の使用許諾を得て、商品化にこぎ着けたとのことです。

価格は中型機で1億1000万円程度。また、PVD方式の装置を使う現行ユーザーも
プラズマCVD機能の追加と若干の設備改造で切り替えられるとしており、費用は1000万円強とのことです。

神鋼によると、DLC膜の成膜装置は現在、CVD方式が圧倒的に多いものの、炭化ガスの取り扱いが困難で
高熱による部品の歪みなども問題になることから、PVDへの移行が進んでいるというとのことです。
神鋼では金型など硬度を求めるユーザーには、引き続きPVDの装置を提案していく方針で、
CVDの装置とすみ分けていくとしています。

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