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配線の重ね塗りで太陽電池セルの変換効率を向上、米AMAT

日経テクノロジーオンライン
配線の重ね塗りで太陽電池セルの変換効率を向上、米AMAT

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セル変換効率を0.2%向上できるスクリーン印刷技術などを採用(出所:アプライド マテリアルズ)

米国の大手半導体製造装置メーカーのアプライド マテリアルズ(AMAT)は、太陽電池セル(発電素子)の
変換効率を向上できる、新たな配線形成装置「Applied Tempo」を発表しています。


スクリーン印刷によって、太陽電池セルに銀の配線を形成する装置で、配線の微細化と抵抗の低減によって
セル変換効率を、従来に比べて0.2%向上できるスクリーン印刷技術などを採用しているとの事。

配線の横幅を微細化するほど、セル上の発電に寄与する面積が増え、発電効率は向上します。
銀のペースト(金属粒子や樹脂で構成する塗布材料)を2回、重ね塗りして配線の高さを増すことで、
配線の横幅を狭めながら、配線としての性能を維持できるようにしています。

このスクリーン印刷技術を、「Fine Line Double Print」と称しています。
セルの変換効率の向上だけでなく、高価な銀ペーストの使用量の低減、配線の断線の減少による歩留まりの向上、
プロセス制御と搬送の高速化による処理能力の向上などによって、セル製造における
コスト・オブ・オーナーシップ(CoO:導入コストと運用コストを合わせた総コスト)や、
セルの出力(W)あたりの製造コストを業界最小に抑制できると強調しているとの事。
処理能力は、1時間あたり3200ウェーハ以上としています。

すでに世界各国の太陽電池メーカー数社が導入ずみで、その1社として、
中国の大手太陽光パネルメーカーであるJAソーラー・ホールディングスを挙げています。

JAソーラーのコメントとして、従来のスクリーン印刷装置に比べて、少ない人数のオペレーターで
運用できることに加え、生産量を1日あたり7万5000セル以上に増す成果があったとしています。


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