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ロック技研、透明導電膜をロール・ツー・ロール方式で樹脂フィルムに真空成膜する装置

日刊工業新聞
ロック技研、透明導電膜をロール・ツー・ロール方式で樹脂フィルムに真空成膜する装置

rockgiken_RtoR_ITO_supatter_film_image.jpg

ロック技研工業は、電気抵抗が数十オーム級の透明導電膜をロール・ツー・ロール方式で
樹脂フィルムに真空成膜する装置を完成したと報じられています。


結晶化ITO(酸化インジウムスズ)膜にも、非結晶化ITO膜にも対応。
屈折率を調整する層を挟んでも、表面抵抗値20Ω、透過率90%以上を実現できるとしています。
価格は1台2億円(消費税抜き)からとの事。

導電膜はタッチパネルなどに利用され、抵抗値は低いほど高反応となり、誤動作を防げます。
同社はITOを結晶化せずに抵抗膜をつくる独自技術について開発を進め、
大幅に抵抗値の低い成膜技術を確立したとしており
実験レベルながら、表面抵抗値8Ωの成膜にも成功しているとの事です。

また、成膜したフィルムを曲げても、膜にクラックが入らないそうです。
社内実験では板厚1mmの角で曲げても割れずに通電できることを確認したとの事です。

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