立命館大と九重電気、研磨効率3倍のエポキシ樹脂製パッド開発

日刊工業新聞
立命館大と九重電気、研磨効率3倍のエポキシ樹脂製パッド開発

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立命館大学理工学部の谷泰弘教授と同総合科学技術研究機構の張宇助教らの研究グループは、
九重電気と共同で、研磨効率を従来の3倍に高めたエポキシ樹脂の研磨パッドを開発したと発表しています。


アミド系硬化剤を用いてパッドの親水性や砥粒の滞留性を高めたとしており、
2014年度中に九重電気が製品化する計画との事です。

谷教授らは親水性の高いアミド系硬化剤に着目。
これをエポキシ樹脂に取り込んで研磨パッドを作製した結果、
市販のウレタン樹脂研磨パッドの3倍ほどの研磨効率を持ち、工作物の表面粗さも良好だったとの事です。
親水性を高めることでスラリーの保持性が高くなり、より多くの砥粒が加工物表面に作用するため、
研磨特性の向上に繋がるとしています。

ritsumeikan_polish-pad_amido_hydrophilic_image.png

一方、研磨資材となる砥粒濃度は低いレベルで研磨できたとしており
ガラス転移温度も約80℃と、通常の20~25℃の研磨温度から離れているため、
研磨温度による影響は小さいとしています。

ritsumeikan_polish-pad_amido_thermal_charactoristic_image.png


立命館大学ニュースリリース
市販の研磨パッドより3倍以上の研磨能率を有する高機能研磨パッドを開発
~スマートフォンなどの製造コスト削減につなげる~

(資料)アミド系硬化剤を適用したエポキシ樹脂研磨パッド (PDF)
(発表用資料)アミド系硬化剤を適用したエポキシ樹脂研磨パッドの開発(PDF)

kokonoe_electric_logo_image.png
http://www.kokonoeele.co.jp/

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