東レエンジニアリング、インクジェット法によるタッチパネルセンサー製造法を開発

日刊工業新聞
東レエンジニアリング、インクジェット法によるタッチパネルセンサー製造法を開発



東レエンジニアリングは、インクジェット法によるタッチパネルセンサー製造法を開発したと発表しています。




OGS や GF1 タイプのような、基板片面に X,Y 電極を形成させるタイプのタッチパネルに適用されるもので
このタイプのセンサーでは X,Y 電極の交差する箇所にショートを避けるための絶縁膜と
その上に導通を取るためのジャンパー線を形成する必要がありますが、
このタッチパネルの絶縁膜形成とジャンパー線の描画をインクジェット法で直接作成するもので、
インクジェット塗布、乾燥のみで形成できるとの事。
月内に同製造法に対応した装置を発売するそうです。

高精度のインクジェット塗布技術を開発するなどして実現したとしており
フォトリソグラフィによる工程と比べて材料費や設備コストを低減できる点を訴求するようです。
Ｇ５サイズ（１１００ミリ×１３００ミリメートル）の基板で試算した場合、
１枚当たり３８０円の材料費が１００円に削減できたとの事です。



今回、露光や現像装置などの付帯設備が不要になるため、従来の半分となる
５億円程度に設備費が低減できるとみているとの事。
Ｇ５サイズに対して約４５秒のタクトタイムを持たせるなど、
従来のフォトリソグラフィ工程と同等の生産性を実現したとしています。

インクジェットで絶縁膜上への配線を積層して形成できるということのようですが
塗膜の制御をどう行っているのかが気になりますね。

インクジェット技術はプロセスが簡便になるのが魅力ですが、一方で材料側の調整が不可欠かと思われます。
装置や要求特性に合わせた材料のラインナップが揃えられているのか、
単純に同じ材料を使用できる訳ではないと思いますので、そのあたりの情報も気にかかります。

東レエンジ　プレスリリース
【業界初】インクジェット法によるタッチパネルセンサー製造法を開発（PDF）

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