関西大、メカノケミカル複合砥石開発－ガラスの超精密鏡面加工に効果

日刊工業新聞
関西大など、メカノケミカル砥粒用いた複合砥石を開発－ガラスの超精密鏡面加工に効果



関西大学システム理工学部の山口智実教授らの研究グループは、
被加工物に噴射粒体を吹き付けて研磨や切削をするメカノケミカル砥粒を用いた複合砥石を開発、
連続加工ができて精度よく仕上げられる固定砥粒研磨技術「超仕上げ」への適用に成功したと報じられています。


研究は関西大グループと精密研削砥石を手がけるミズホ（大阪市西区）が共同で実施し、
特許申請済みとの事です。



山口教授らは高温・高圧下での砥粒と工作物との固相反応により、
反応生成物が生じるメカノケミカル（ＭＣ）反応に着目。
この反応を用いたメカノケミカル砥粒は被削材より軟らかく、
メカノケミカル反応で被削材を除去する事が出来るとしており硬質で処理しにくい砥粒が
残りにくい利点があるとの事です。
この砥粒を組み込んだＭＣ砥石を、超仕上げで研磨実験すると、
除去性能はポリシングと比較しても差がなかったとしています。

　一方、研磨で粗さ処理するための仕上げ時間はガラスで約30秒、
単結晶シリコンで約3分と、従来の1/5程度に短縮できたとの事です。

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