東レエンジニアリングが「ロールツーロールバリアフィルム製造装置」を開発 : deep 2 black

東レエンジニアリングが「ロールツーロールバリアフィルム製造装置」を開発

日刊工業新聞より。
東レエンジ、「ロール・ツー・ロールバリアフィルム製造装置」を開発

開発した「RtoR バリアフィルム製造装置」

東レエンジニアリングが「ロールツーロール（RtoR）バリアフィルム製造装置」を開発したと報じられています。

従来装置よりも倍の550m2/dayの生産能力を持ち、１m2当たりのコストは\1000以下に抑えられるとしています。
また、両面成膜を行うことで水蒸気透過率は10＾-5g/m2/dとしており、
有機EL向けに適用可能なレベルになっているようです。膜厚が気になるところですね。

成膜方法はプラズマ化学気相成長（CVD）をベースにした「ラジカルCVD」を採用したことにより
プラズマによるダメージがなく、デバイスへの直接成膜が可能で80℃～150℃の低温製膜に対応しているそうです。

バリアー膜とバッファー膜を組み合わせ、バッファー膜を工夫することで、
400～900nmの波長領域において最大で2%光透過性を高められるとしています。
素材はPEN（ポリエチレンナフタレート）やPET（ポリエチレンテレフタレート）フィルムなどに対応しているとの事。