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東工大など、ナノインプリント技術で樹脂に原子サイズの加工

日刊工業新聞より。
東工大など、ナノインプリントでアクリル樹脂に原子サイズの加工に成功

titech_yoshimoto_nanoinprint_PMMA_image.png

東京工業大学大学院総合理工学研究科の吉本護教授らは「ナノインプリント」で
アクリル樹脂に原子サイズの加工を施すことに成功したと発表しています。



ナノインプリント技術ナノインプリント技術
(2014/03)
松井 真二、平井 義彦 他

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段差は0.3nmで従来の1/3程度とのこと。
同グループは以前にセラミックスの酸化アルミニウム単結晶で、自己組織化により
表面に微細な階段構造を形成することに成功しているそうです。
これを鋳型にすると、離型剤を塗布せずに転写ができたとの事です。

樹脂として使ったのは、アクリル樹脂のポリメタクリル酸メチル(PMMA)で
140℃に加熱した樹脂シートに鋳型を載せ、2気圧の低加重型押しを5分間実施することにより
高さが酸素原子1~2個分の0.3nm、幅500nmの階段構造が樹脂シートに転写されたそうです。
同グループは位相差フィルムに使う脂肪族環状ポリオレフィンでも同じ精度で転写することに成功しています。

ナノインプリントは大面積のデバイスへの展開には課題がありそうですが
半導体などの分野への展開は効果がありそうです。

同グループの研究ではナノインプリント加工を施した基材へのITO膜形成など
興味深い研究を行っています。

吉本研究室HP:http://www.yoshimoto.iem.titech.ac.jp/

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