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旭化成せんい、ナノ不織布フィルター細繊化-繊維孔径0.2マイクロメートル

日刊工業新聞より。
旭化成せんい、ナノ不織布フィルター細繊化-繊維孔径0.2マイクロメートル

asahikasei-seni_nano_filter_image.png

旭化成せんいは不織布の繊維径が0.3μm、孔径が0.2-0.3μmと業界最小クラスの細繊化を
実現したナノ不織布フィルター「ユーテックナノKPXシリーズ」を開発したと発表しています。

半導体デバイスは回路パターンの微細化が進み、これに伴いゲル状異物を除去する
フィルターの径をより細くして捕集効率を高めるニーズに対応したとの事。

おもにレジストやフィルム材料などの高粘度液からゲル状物質を除去したり、
研磨材やインク、電極など微粒子スラリー液の凝集物を濾過したりする用途などを想定しています。
同社は細繊化したナノフィルターを投入して他社との差別化を図るとの事。
繊維径を細くする技術を応用して完成し、高い空隙率を持たせながら、長寿命化したそうです。

糸をつぶさずに高い空隙率を持たせたことで、細かなゲル状異物の捕集に
優れた効果を発揮するとしています。
捕集効率はフィルターの孔径が0.2μmタイプが99.5%、同0.3μmタイプが99.9%を達成したとの事です。
メンブレン膜では通液が難しい高粘度液でも低圧損での使用が可能との事です。

材料の多様化に伴い装置に使用されるフィルターもより孔径の細かい製品が
要求されてきているのは確かだと思います。
フィルターは消耗品ですので耐久性(どこまで性能を維持できるのか)も重要だと思います。

旭化成せんい
asahikasei-seni_logo_image.png
http://www.asahi-kasei.co.jp/fibers/index.html

旭化成せんいはセルロースナノファイバー製の不織布も開発しているようです。
セルロースナノファイバー不織布について


旭化成せんいは不織布の繊維径が0・3マイクロメートル、孔径が0・2マイクロ―0・3マイクロメートルと業界最小クラスの細繊化を実現したナノ不織布フィルター「ユーテックナノKPXシリーズ」を開発。半導体デバイスは回路パターンの微細化が進み、これに伴いゲル状異物を除去するフィルターの径をより細くして捕集効率を高めるニーズに対応した。
 おもにレジストやフィルム材料などの高粘度液からゲル状物質を除去したり、研磨材やインク、電極など微粒子スラリー液の凝集物を濾過したりする用途などを想定する。同社は細繊化したナノフィルターを投入して他社との差別化を図る。繊維径を細くする技術を応用して完成した。高い空隙率を持たせながら、長寿命化した。
 糸をつぶさずに高い空隙率を持たせたことで、細かなゲル状異物の捕集に優れた効果を発揮する。
 捕集効率はフィルターの孔径が0・2マイクロメートルタイプが99・5%、同0・3マイクロメートルタイプが99・9%を達成した。メンブレン膜では通液が難しい高粘度液でも低圧損での使用が可能だ。




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