【抜粋記事】東芝メモリら4社連合、ナノインプリントでNANDを19年にも量産へ

日経テクノロジーオンライン
東芝メモリら4社連合、ナノインプリントでNANDを19年にも量産へ

Toshiba_NIL_NAND_image1.jpg
東芝がNILでマスターテンプレート上に試作したHP 20nmのレジストパターンの断面写真 (写真:東芝)

キヤノン、大日本印刷(DNP)、東芝メモリ(旧東芝)および韓国SK Hynix社の4社は、半導体露光技術の国際会議「SPIE Advanced Lithography 2017(SPIE)」にそれぞれ登壇、ナノインプリントリソグラフィー(NIL)技術がNANDフラッシュメモリーの量産適用に大きく近づいた状況を発表



スポンサーサイト
プロフィール

miyabi

  • Author:miyabi
  • 2013/1よりディスプレイ周りの技術情報を掲載。

    Twitter @deep2black
カレンダー
03 | 2017/04 | 05
- - - - - - 1
2 3 4 5 6 7 8
9 10 11 12 13 14 15
16 17 18 19 20 21 22
23 24 25 26 27 28 29
30 - - - - - -
最近の記事
タグリスト
カテゴリー
アーカイブ
リンク
人気記事
ブログ内検索
関連書籍
RSSフィード
Twitter